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中圖儀器3d光學(xué)影像輪廓測(cè)量儀是一款非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量儀器。它以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等領(lǐng)域。

SuperViewW1光學(xué)表面輪廓儀器通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術(shù)上的優(yōu)勢(shì)獲得全面的表面特性。既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測(cè)。

中圖儀器SuperView W1非接觸三維表面輪廓測(cè)量儀器主要是用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓，此外還具有測(cè)量晶圓翹曲度的功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量，應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測(cè)。

SuperViewW1非接觸3d光學(xué)輪廓儀能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。主要是用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外，具有測(cè)量晶圓翹曲度的功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量，應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。

從檢測(cè)效果和操作簡便上來看，w系列光學(xué)表面輪廓儀是比較有優(yōu)勢(shì)的產(chǎn)品。可以測(cè)到12mm，也可以測(cè)到更小的尺寸，xy載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm（可擴(kuò)展），局部位移精度可達(dá)亞微米級(jí)別，鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um，Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達(dá)0.1nm級(jí)別，因此可測(cè)非常微小尺寸的器件。

要想測(cè)量物體整個(gè)區(qū)域的表面情況，只能用自動(dòng)拼接測(cè)量功能，但耗時(shí)較多。中圖儀器3d光學(xué)表面輪廓檢測(cè)儀的自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能，能在樣品表面抽取多個(gè)測(cè)量區(qū)域進(jìn)行測(cè)量，從而對(duì)樣品進(jìn)行評(píng)估分析。